掃描電鏡是一種利用聚焦電子束掃描樣品表面，通過檢測電子與樣品相互作用產生的信號來獲得樣品表面形貌和成分信息的儀器。其核心原理包括電子槍發射電子束，經過電磁透鏡聚焦后掃描樣品表面，探測器接收二次電子、背散射電子等信號，最終形成高分辨率的圖像。1

掃描電子顯微鏡主要由電子光學系統、信號收集處理系統、真空系統、圖像處理顯示和記錄系統、樣品室樣品臺、電源系統和計算機控制系統等組成。電子光學系統主要由電子槍、電磁聚光鏡、光闌、掃描系統、消像散器、物鏡和各類對中線圈組成，主要是給掃描電鏡提供一定能量可控的并且有足夠強度的，束斑大小可調節的，形狀完美對稱的，并且穩定的電子束。